Der Oberwesterwaldkreis entstand im Jahr 1867 nach der Annexion des Herzogtums Nassau durch Preußen in Folge des Deutschen Krieges. Dabei wurde die Provinz Hessen-Nassau in die zwei Regierungsbezirke Kassel für das Kurfürstentum Hessen und Wiesbaden für das Herzogtum Nassau aufgeteilt. Die Regierungsbezirke wurden wiederum in Kreise unterteilt. Der Oberwesterwaldkreis hatte seinen Sitz bis 1932 in Bad Marienberg. 1886 schied das ehemalige nassauische Amt Rennerod aus dem Oberwesterwaldkreis aus und wurde Teil des neuen Kreises Westerburg.
Bei der preußischen Gebietsreform vom 1. Oktober 1932 wurden die drei bestehenden Westerwaldkreise zu zwei Kreisen zusammengefasst. Der Nordteil des aufgelösten Kreises Westerburg wurde mit dem Oberwesterwaldkreis zu einem neuen Kreis zusammengeschlossen, der zunächst vorübergehend Landkreis Westerburg und seit 1933 Oberwesterwaldkreis hieß. Westerburg wurde Kreisstadt.
1944 wurde die Provinz Hessen-Nassau aufgeteilt, wobei der Oberwesterwaldkreis in die Provinz Nassau eingegliedert wurde. Nach dem Zweiten Weltkrieg wurde der Kreis Teil der französischen Besatzungszone. Diese wurde später in mehrere Länder aufgeteilt, wobei der Oberwesterwaldkreis zu Rheinland-Pfalz kam. Der zuständige Regierungsbezirk war bis 1968 Montabaur und danach der Regierungsbezirk Koblenz.
Durch die 1969 beginnenden Gebietsreformen in Rheinland-Pfalz verringerte sich die Zahl der Gemeinden des Kreises bis 1974 von ursprünglich 151 auf 115. Die Gemeinde Berod bei Hachenburg wechselte am 7. November 1970 aus dem Oberwesterwaldkreis in den Landkreis Altenkirchen. Gleichzeitig wechselte die Gemeinde Düringen aus dem Oberwesterwaldkreis in den Unterwesterwaldkreis und wurde dort nach Wölferlingen eingemeindet. Am 29. Januar 1971 wechselten auch die Gemeinden Niedersayn und Sainerholz in den Unterwesterwaldkreis.
Der Oberwesterwaldkreis fusionierte am 16. März 1974 mit dem Unterwesterwaldkreis zum Landkreis Westerwald. Dieser wurde bereits am 1. August 1974 in Westerwaldkreis umbenannt.
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